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炉管机器人


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产品详情

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  • 型号 RC-010F-08
    搬运对象 8寸晶圆
    最大负载 5片晶圆
      φ500mm
    运动范围 回转轴 ±110°
    伸缩轴 400mm
    变距轴 4.7~10mm
    升降轴 1000mm
    搬运速度
    (max)
    回转轴 360°/s
    伸缩轴 500mm/s
    变距轴 15mm/s
    升降轴 500mm/s
    重量(不含电箱) 70~80kg
  • 炉管机器人.DWG   

    炉管机器人.pdf  

    炉管机器人.x_t   

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