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PRA三手指
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项目 参数 晶圆尺寸 6/8寸 X1轴 行程 385mm 速度 3750mm/s X2轴 行程 385mm 速度 3750mm/s X3轴 行程 385mm 速度 3750mm/s Z轴 行程 1100mm 速度 1600mm/s T轴 行程 330° 速度 150rpm 重复定位精度 ±0.1mm;±0.1° 洁净度 Class 1@0.1μm 重量 ≈150kg FORK 铝合金+PEEK托举
(X1、X2为吸附)Sensor波长 >600nm 厂务 电源 AC220V;50/60HZ 真空 ≤-80kPa;20NL/min 环境 温度 15-25℃ 湿度 20-60% -
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盐城子公司：盐城市建湖县高新区机器人产业园A4栋3楼
绍兴子公司：绍兴市上虞区东关街道联星村上虞浙里新征程创投产业园厂区10号楼
邮箱：marketing@robotphoenix.com
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