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大负载晶圆机器人
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项目 内容 驱动方式 R/Z/Theta轴 低压伺服 工作行程 R轴(伸出) >700mm (手臂长度260mm) Z(升降) 300mm Theta(旋转) ±170° 最高速度 R轴(伸出) 700mm/sec Z(升降) 500mm/sec Theta(旋转) 130deg/sec 搬运振动值 0.5g 重量 50kg 碰撞停止功能 机械手具有碰撞停止功能 功能IO信号 功能IO/急停/安全光幕等 通讯方式/调
试控制软件/
各轴速度可调节Ethernet/手操器、软件均可实现 软件开发包 C#版本，满足对设备的各种控制需求 安全认证/CE SEMI认证 负载 ≤10kg 重复定位精度 伸缩±0.1mm;回转轴≤±0.02deg 洁净度 ISO Class 1 噪声 80dB 电源 单相AC200~240V/9A 50/60HZ LN GND 气源 -40-60Kpa -
服务热线：
玉环总部：玉环市经济开发区金海大道1261号数字经济产业园（南湾智谷）E栋
济南子公司：山东省济南市高新技术开发区航天大道普翼机器人产业园
上海子公司：上海市嘉定区南翔镇翔江公路485号1号
杭州子公司：杭州市萧山区萧山科技城钱农一路2号金帝•新道蓝谷7幢9层902室
深圳子公司：深圳市宝安区松岗街道松江路6号满京华科创工坊大楼（工业区）2栋1201号
苏州子公司：苏州市姑苏区新平街388号腾飞苏州创新园塔B-407-411室
临沂子公司：临沂市兰山区西安路与羽山路路口沂蒙新质产业园1号厂房
武汉子公司：武汉东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期2栋5层0528室
枣庄子公司：山东省枣庄高新区兴仁街道太行山路3333号锦水长街(互联网小镇)3号楼109室
泉州子公司：福建省泉州市丰泽区东海街道滨海社区大兴街77号恒禾财富中心3526-1
盐城子公司：盐城市建湖县高新区机器人产业园A4栋3楼
绍兴子公司：绍兴市上虞区东关街道联星村上虞浙里新征程创投产业园厂区10号楼
邮箱：marketing@robotphoenix.com
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