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标准大气晶圆机器人
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机器人型号 RW-A000D系列标准大气晶圆机器人 双臂标准 双臂高负载 性能 行程 Z轴 300/450/500mm T轴 0~340° R/W轴 臂展：156mm/190mm/260mm /最高速度 Z轴 500mm/s T轴 260°/s 240°/s R/W轴 1100mm/s 750mm/s 重复定位精度 Z轴 ±0.1mm T轴 ±0.02° R/W轴 ±0.1mm 概述 控制轴数 4 （最多可拓展至8） 洁净度 Class 1@0.1um 负载 1.5kgf(含末端执行器) 4kgf (含末端执行器) 安装形式 顶部/底部(安装) 线缆长度(机器人-控制器) 3m(标准) 电箱尺寸 435x300x155mm I/0接口 8IN;8OUT 厂务 电源 单相AC220V,50/60Hz 气源 压缩空气 大于0.4~0.5MPa 真空 小于-50~-70kPa -
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RW-A022D+FV081（Z450+R190+8Inch Vac Fork）.pdf
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枣庄子公司：山东省枣庄高新区兴仁街道太行山路3333号锦水长街(互联网小镇)3号楼109室
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绍兴子公司：绍兴市上虞区东关街道联星村上虞浙里新征程创投产业园厂区10号楼
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