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寻边器

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    型号 PV-410 PV-420
    晶圆材质 透明/半透明/不透明
    晶圆尺寸 4~12寸
    晶圆承载方式 真空吸附
    工作范围 0~360deg
    定位精度 ±0.1mm,±0.1deg
    寻边速度 max:120rpm
    洁净度 Class 1@0.1um
    重量 3.5kg 4.0kg
    体积 L322*W150*H212mm L322*W170*H240mm
    厂务 真空 -70~-80kPa,10L/min
    电源 单相AC220V,50/60Hz
    环境 温度 15~25℃
    湿度 20~60%
  • PA两轴Layout.pdf   

    PA两轴Layout.step   

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